建設地點：南通高新技術產業開發區雙福路126號；
建設單位：江蘇優眾微納半導體科技有限公司；
環評機構：南京源恒環境研究所有限公司；
項目概況：江蘇優眾微納半導體科技有限公司擬購買南通半導體光電產業園北區N9號廠房，并租賃產業園區各類甲類庫、丙類庫等，建設微納光學元器件生產項目。VCSEL芯片生產工藝：GaN襯底-光刻膠涂布-曝光-檢查-顯影-酸洗-蒸鍍（Au、Ti、Pt）-金屬剝離-臺面蝕刻-去膠-濕法氧化-鈍化-金屬濺射-電鍍金-切割道-ALD鍍膜-減薄劃裂（委外）-電性測試（委外）。光柵片生產工藝：基片-來料檢查-堿洗-原片檢驗-鍍膜-堿洗-檢驗-勻膠、壓印-脫模-檢驗-ICP刻蝕-酸洗-檢驗-包裝。項目建成后形成年產3000萬顆VCSEL和年加工60萬片光柵片的產能。項目總投資30000萬元，其中環保投資225萬元，環保投資占比0.75%。本項目勞動定員200人，年生產300天，三班制，每班8小時，全年工作7200小時。主要環境影響及預防或者減輕不良環境影響的對策和措施如下：
（1）水污染防治。廠區實行“清污分流、雨污分流”的排水體制。初期雨水經光電產業園雨水管網收集后排入市政污水管網，最終進入南通溯天環?？萍加邢薰?，后期雨水經產業園區雨水管網收集后排入新江海河；生活污水經化糞池預處理后接管通州區益民水處理有限公司，尾水排入通甲河，最終匯入新江海河；顯影廢水、金屬剝離廢水、超聲去膠廢水經芬頓氧化預處理，酸腐蝕清洗廢水、堿洗廢水、酸洗廢水、零部件清洗廢水、廢氣處理廢水經中和預處理，合并進入綜合廢水處理系統（工藝：混凝沉淀+氣?。?，處理后與純水制備濃水、間接冷卻系統排水一并接管南通溯天環?？萍加邢薰?，尾水排入金樂二號橫河，最終匯入新江海河。生活污水排放口執行益民水處理有限公司接管標準，生產廢水排放口中pH、COD、SS、氨氮、總氮、總磷執行南通溯天環?？萍加邢薰窘庸軜藴?，氟化物參照執行《地表水環境質量標準》(GB3838-2002)中IV類標準，總鋁參照執行《電鍍污染物排放標準》(GB21900-2008)表3標準限值，LAS、TOC執行《半導體行業污染物排放標準》(DB32/3747-2020)表1間接排放標準限值。
（2）大氣污染防治。光刻膠涂布廢氣及顯影廢氣由管道收集，金屬剝離廢氣及去膠廢氣由集氣罩收集，勻膠壓印廢氣由通風櫥負壓收集，合并經二級活性炭吸附裝置處理后通過29米高DA001排氣筒排放；臺面刻蝕廢氣及ICP刻蝕廢氣由管道收集，刻蝕酸洗廢氣、返工酸洗廢氣及顯影后清洗廢氣由頂部吸風罩收集，合并經車間內濕式水洗裝置預處理后進入一級堿噴淋裝置，處理后通過29米高DA002排氣筒排放；濕法氧化廢氣、ALD鍍膜廢氣、光柵片鍍膜廢氣由管道收集，經各自配套的燃燒筒預處理后，再與由頂部吸風罩收集的金屬濺射廢氣、堿洗廢氣合并經車間內濕式水洗裝置+一級水噴淋裝置處理后通過29米高DA003排氣筒排放；污水處理站廢氣、乙醇擦拭廢氣與上述未收集部分均無組織排放。有組織排放的氯化氫、硫酸霧、非甲烷總烴、異丙醇、氯氣、氟化物、氨、氮氧化物、顆粒物執行《半導體行業污染物排放標準》(DB32/3747-2020)表3標準限值，堿霧參照執行上海市地標《大氣污染物綜合排放標準》(DB31/933-2015)表1標準限值，一氧化碳執行《大氣污染物綜合排放標準》(DB32/4041-2021)表1標準限值。廠界無組織排放的非甲烷總烴、氯化氫、硫酸霧、氨執行《半導體行業污染物排放標準》(DB32/3747-2020)表4標準限值，硫化氫、臭氣濃度執行《惡臭污染物排放標準》(GB14554-93)表1標準限值，氟化物、一氧化碳及廠區內無組織排放的非甲烷總烴執行《大氣污染物綜合排放標準》(DB32/4041-2021)表2、表3標準限值。
（3）噪聲污染防治噪聲源包括各類生產設備、冷卻塔、空壓機和風機等，通過選用低噪音設備、合理布局、隔聲減振等措施，廠界噪聲滿足《工業企業廠界環境噪聲排放標準》(GB12348-2008)3類標準。
（4）固體廢物污染防治。一般工業固廢：純水制備產生的廢濾膜、廢濾碳、不合格品收集后交由專業單位處理；普通廢包裝材料、廢載板收集后外售。危險廢物：丙酮廢液、廢NMP清洗液、異丙醇廢液、碘化鉀更換廢液、氨水更換廢液、廢電鍍槽液、廢酸液、廢活性炭、車間凈化產生的廢分子篩和廢濾芯、污水處理站產生的污泥、廢包裝桶/瓶、沾染乙醇的廢抹布收集后委托有資質單位處置。生活垃圾由環衛部門清運。
公示時間：2024年4月25日~2024年5月6日（5個工作日）
公眾反饋意見聯系方式：
聯系電話：0513-86028926
聯系地址：南通高新區行政審批局項目投資科（通州區政務服務中心三樓高新區服務大廳）
電子郵件：994629318@qq.com
聯系人：顧晨
郵編：226300
聽證告知：依據《中華人民共和國行政許可法》，自公告起五日內申請人、利害關系人可對上述擬作出建設項目環境影響評價文件批復決定要求聽證。
